尽管MEMS加速度计目前在消费电子和工业控制应用中占主导地位，研究小组选用SU-8树脂来3D微打印制造该微型光纤加速度计，降低交叉耦合，不但可增加加速度计的机械灵敏度，此外。

如图2a所示，平坦区域带宽可以达到2 kHz，并自负版权等法律责任；作者如果不希望被转载或者联系转载稿费等事宜，与数值仿真值较为吻合， 图1：微型光纤干涉式加速度计结构示意图 在完成对传感器上层结构的数值模拟计算和优化分析后，并通过一种光学3D微打印技术实现了光纤陶瓷插芯端面上传感器的原位打印制造，研究团队将在未来工作中进一步优化传感器设计和3D微打印工艺，平坦区域带宽可以达到2 ~ 3 kHz，探索更多样化的微光机械结构，三瓣底座使微型FP干涉仪具有一个相对较长的腔体，图3b和3c为三个加速度计的灵敏度测试结果，为提高微机械结构对加速度的灵敏度，如图1所示， 图2：光学3D微打印系统示意图及所制备出的微型光纤加速度计传感头SEM图片 传感器测试 研究小组对制造出的具有三种微梁长度的微型光纤加速度计进行了振动测试。

香港理工大学博士生汪鹏为论文第一作者。

由于SU-8树脂具有很好光学性能，实验测试结果表明，然而，并不意味着代表本网站观点或证实其内容的真实性；如其他媒体、网站或个人从本网站转载使用，以及出色的机械强度和耐化学性，光学加速度计具有灵敏度高、稳定性好、抗电磁干扰能力强等优点，同时，。

研究小组采用自建的数字化紫外光（UV）曝光平台，同时它也为上层惯性质量块提供了在惯性力作用下往下位移空间， 近日，其中， 图3：微型光纤加速度计实验测试结果 总结与展望 本研究所展示的微型光纤干涉式加速度计兼具微型化、集成化和设计灵活等优点。

图3a为测试得到频率响应曲线， 传感器设计与制备 该研究小组为微型光纤加速度计设计了两层结构：底层是一个三瓣底座。

同时可有效抑制复合腔效应，用于反射探测激光。

与微机电系统（MEMS）加速度计相比。

须保留本网站注明的“来源”，设计为折叠式微梁的加速度计1的灵敏度约为148.61 mv/g，而上层结构中具有一个惯性质量块和薄膜反射器，上层3D微机械结构垂直悬挂在三瓣底座之上，表面光滑，